플라즈마 용사 코팅으로 세라믹 표면에 고기능 층을 형성해, 반도체 공정 부품부터 고온·내마모 환경까지 폭넓게 대응합니다.
일반적인 내마모 제품에 사용
반도체 플라즈마 식각 및 에칭 분야에 사용
Heater 또는 고온·열충격 저항성이 큰 부품에 사용
(굽힘 강도 180MPa)
소성용 Setter
| 코팅소재 | Alumina, Zirconia, Mullite, Yttria |
|---|---|
| 코팅 두께 | 50 ~ 300 ㎛ (협의 가능) |
| 적용 소재 | Steel, SUS, Aluminum, Ceramic |
| 표면 처리 | 연삭 및 폴리싱 가능 |
| 사용 온도 | 최대 1,200℃ (소재별 상이) |
